已解决小白问下什么是射频电源

提问者：黑风狼王 | 浏览次 | 提问时间：2016-12-14 | 回答数量：3

小白问下什么是射频电源射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源。射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.1...

已有3条答案

粉红色袈裟

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射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源。射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。

2016-12-14 14:11:09

卖屁股的小母猪

回答数：85351 | 被采纳数：40

射频电源是等离子体配套电源，它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成，是八十年末期在我国新兴的高科技领域，应用于射频溅射，PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。

2016-12-14 14:05:01

w1208538218

回答数：12399 | 被采纳数：0

射频电源是传输射频范围内电磁能量的电缆，射频电源是各种无线电通信系统及电子设备中不可缺少的元件，在无线通信与广播、电视、雷达、导航、计算机及仪表等方面广泛的应用。
希望我的回答可以帮到你！

2016-12-14 14:52:42