已解决mems温度传感器的分类有哪些？

MEMS传感器分类：
1、 微机械压力传感器 微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看，微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。现阶段微机械压力传感器的主要发展方向有以下几个方面。
(1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成，研制智能化的 压力传感器。
(2)进一步提高压力传感器的灵敏度，实现低量程的微压传感器。
(3)提高工作温度，研制高低温压力传感器。
(4)开发谐振式压力传感器。
2、 微加速度传感器 硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。
3、 微机械陀螺 角速度一般是用陀螺仪来进行测量的。常见的微机械角速度传感器有双平衡环结构，悬臂梁结构、音叉结构、振动环结构等。
4、 微流量传感器 微流量传感器不仅外形尺寸小，能达到很低的测量量级，而且死区容量小，响应时间短，适合于微流体的精密测量和控制。 目前国内外研究的微流量传感器依据工作原理可分为热式（包括热传导式和热飞行时间式）、机械式和谐振式3种。
5、 微气体传感器